目前,針對不同設備及使用環境分為4種類型,再根據變色靈敏度要求的不同每個類型又分為高、中、低敏感度。

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  通過各種等離子體處理使本產品變色區產生顏色變化,在想要確認等離子體處理效果的部位設置該指示卡,可以不利用電、光學測量裝置的情況下確認等離子體處理效果。

  A型主要適用與O?、N?、Air、CF4、NH3、Ar等自由基性等離子體的檢測,也適用于UV洗凈和臭氧洗凈。可用于接合線、覆晶線等接合處的表面改性、部分封裝后底部填充前的洗凈和電鍍前表面改質以及LSI、存儲器、MEMS、LED等電子設備對裝前的洗凈。

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  B型等離子體處理指示卡可用于大氣等離子表面處理的檢測,分為高敏度和低敏感度兩種。主要用于印刷電路板制造、FPD制造和膜加工等大面積處理。

  C型變色部分為無機材料,基材為PI材質,背膠可承受200攝氏度高溫。具有柔軟性,可自由貼附于基板表面或等離子清洗機設備內部。處理后會根據不同氣體顯示不同的顏色。

  D型主要用于檢測均勻性,可提高面內均一性檢測效率,對面內差和層間差均可輕松檢測。

  E型晶圓專用(提高良品率,開機前處理),我們正在研發中;

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本產品的變色區印刷的色素與各種等離子體反應,根據處理時間、功率、工藝氣體種類和氣體流量等參數的不同會產生不同程度的顏色變化。