等離子清洗機是一種干式清洗，與傳統的濕式清洗不同，等離子清洗機可以有效的去除基地表面殘留的有機小分子以及油污。

一般的油脂污染主要是碳基化合物，等離子體中高能態原子團自由基易與化合物分子結合形成新的不穩定的自由基，新生成的自由基進一步分解，在生成小分子的同時產生新的自由基，該過程持續進行，油脂污染物中的碳氫化合物被這些活性氧原子所氧化，產生二氧化碳和水,從而實現油脂污染物的去除。

等離子清洗機表面改性、刻蝕活化設備廣泛應用于等離子表面活化清洗，等離子處理后粘結，等離子刻蝕活化，離子去膠，等離子涂覆，增強粘結等，通過等離子處理，可提高材料表面的浸潤性，使多種材料都能進行涂覆、刻蝕、印刷等操作，增強粘結強度，同時去除有機污染物、油污或油脂。 

根據多年的經驗表明不能用等離子清洗機清除很厚的油垢,雖然用等離子體清洗少量附著在物體表面的油垢有很好的效果.但對厚油垢的清除效果往往不佳。

一方面用它清除厚油膜,必須延長處理時間,使清洗的成本大大提高。另一方面有可能是它在與厚油垢相互接觸的過程中,引發了油污分子結構中的不飽合鍵發生了聚合、偶聯等復雜反應而形成較堅硬的樹脂化立體網狀結構有關。一旦形成這類樹脂膜它將很難被清除.因此通常只用等離子體清洗厚度在幾個微米以下的油污。

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